Оптикалық дизайн жартылай өткізгіш өрісінде көптеген өтініштер бар. Фотолитография машинасында оптикалық жүйе жарық көзімен шығарылған жеңіл сәуле шығарып, оны силикон вафлиіне селоскул вафлиіне бағыттау үшін жауап береді. Сондықтан фотолитография жүйесіндегі оптикалық компоненттерді жобалау және оңтайландыру фотолитография машинасының жұмысын жақсартудың маңызды әдісі болып табылады. Төменде фотолитрографиялық машиналарда қолданылатын оптикалық компоненттердің кейбірі кіреді:
Проекциялық мақсат
01 Проекциялық мақсаты - литография машинасындағы негізгі оптикалық компонент, әдетте, литрографиялық машинада, оның ішінде дөңес линзалар, винтинг және призмалардан тұрады.
02 Оның функциясы маскадағы тізбек үлгісін кішірейту және оны фоторезистпен қапталған вальерге бағыттау.
03 Проекциялық мақсаттың дәлдігі мен өнімділігі литография машинасының ажыратымдылығы мен бейнелеу сапасына шешуші әсер етеді
Айна
01 Айлақжарық бағытын өзгерту және оны дұрыс жерге бағыттау үшін қолданылады.
02 EUV литография машиналарында айна, әсіресе маңызды, өйткені EUV жарығы материалдармен оңай сіңеді, сондықтан жоғары шағылысуы бар айна қолданылуы керек.
03 Рефлектордың бетінің дәлдігі мен тұрақтылығы литография машинасының жұмысына да үлкен әсер етеді.
Сүзгілер
01 сүзгілер жарық толқындарының ұзындығын кетіру үшін қолданылады, фотолитография процесінің дәлдігі мен сапасын жақсарту үшін қолданылады.
02 Тиісті сүзгіні таңдап, белгілі бір толқын ұзындығының жарығы литографиялық машинаға кіріп, онда литография процесінің дәлдігі мен тұрақтылығын жақсартатынын қамтамасыз етуге болады.
Призмалар және басқа компоненттер
Сонымен қатар, литрография машинасы сонымен қатар литографиялық талаптарға сай призмалар, поляризация және т.б. сияқты басқа да қосалқы оптикалық компоненттерді де қолдануға болады. Бұл оптикалық компоненттерді таңдау, жобалау және өндіру тиісті техникалық стандарттарды және литография машинасының жоғары дәлдік пен тиімділігін қамтамасыз етуге қойылатын талаптарды қатаң сақтауы керек.
Қорытындылай келе, литографиялық станоктар саласында оптикалық компоненттерді қолдану литография машиналарының өнімділігі мен тиімділігін арттыруға, осылайша микроэлектрониканы өңдеу өнеркәсібінің дамуын қолдайды. Литография технологиясының үздіксіз дамуымен, оптикалық компоненттерді оңтайландыру және инновациялар келесі буын чиптерін өндірудің үлкен әлеуетін қамтамасыз етеді.
Қосымша ақпарат пен сарапшылар кеңес алу үшін біздің веб-сайтқа кіріңізhttps://www.jiujonoptics.com/Біздің өнімдеріміз бен шешімдеріміз туралы көбірек білу.
POST уақыты: қаңтар-02-2025
