Оптикалық дизайн жартылай өткізгіштер саласында кең ауқымды қолданбаларға ие. Фотолитографиялық машинада оптикалық жүйе жарық көзі шығаратын жарық сәулесін фокустауға және схема үлгісін көрсету үшін оны кремний пластинасына проекциялауға жауапты. Сондықтан фотолитография жүйесіндегі оптикалық компоненттерді жобалау және оңтайландыру фотолитографиялық машинаның жұмысын жақсартудың маңызды жолы болып табылады. Төменде фотолитографиялық машиналарда қолданылатын кейбір оптикалық компоненттер берілген:
Проекция мақсаты
01 Проекциялау объектісі әдетте дөңес линзаларды, ойыс линзаларды және призмаларды қамтитын линзалар сериясынан тұратын литография машинасының негізгі оптикалық құрамдас бөлігі болып табылады.
02 Оның функциясы маскадағы схема үлгісін кішірейту және оны фоторезистпен қапталған вафлиге бағыттау.
03 Проекциялау мақсатының дәлдігі мен өнімділігі литография машинасының ажыратымдылығы мен кескін сапасына шешуші әсер етеді
Айна
01 Айналаржарық бағытын өзгерту және оны дұрыс орынға бағыттау үшін қолданылады.
02 EUV литографиялық машиналарда айналар ерекше маңызды, өйткені EUV сәулесі материалдарға оңай сіңеді, сондықтан шағылыстыру қабілеті жоғары айналар қолданылуы керек.
03 Рефлектордың бетінің дәлдігі мен тұрақтылығы да литографиялық машинаның жұмысына үлкен әсер етеді.
Сүзгілер
01 Сүзгілер фотолитография процесінің дәлдігі мен сапасын арттыра отырып, жарықтың қажетсіз толқын ұзындығын жою үшін қолданылады.
02 Сәйкес сүзгіні таңдау арқылы литография машинасына тек белгілі бір толқын ұзындығының сәулесінің түсуін қамтамасыз етуге болады, осылайша литография процесінің дәлдігі мен тұрақтылығын арттырады.
Призмалар және басқа компоненттер
Бұған қоса, литографиялық машина арнайы литография талаптарын қанағаттандыру үшін призмалар, поляризаторлар және т.б. сияқты басқа қосалқы оптикалық компоненттерді де пайдалана алады. Бұл оптикалық компоненттерді таңдау, жобалау және өндіру литография машинасының жоғары дәлдігі мен тиімділігін қамтамасыз ету үшін тиісті техникалық стандарттар мен талаптарды қатаң сақтауы керек.
Қорытындылай келе, литография машиналары саласында оптикалық компоненттерді қолдану литография машиналарының өнімділігі мен өндірістік тиімділігін арттыруға, осылайша микроэлектроника өндірісінің дамуын қолдауға бағытталған. Литография технологиясының үздіксіз дамуымен оптикалық компоненттерді оңтайландыру және инновациялар жаңа буын чиптерін өндіру үшін үлкен әлеуетті қамтамасыз етеді.
Қосымша түсініктер мен сарапшылық кеңестер алу үшін біздің веб-сайтқа кіріңізhttps://www.jiujonoptics.com/өнімдеріміз бен шешімдеріміз туралы көбірек білу үшін.
Жіберу уақыты: 02.02.2025 ж
